国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请一项名为“晶圆的清洗方法、设备、以及晶圆”开元体育网站 开元登录入口的专利，公开号CN121604750A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本公开实施例公开了一种晶圆的清洗方法、设备以及晶圆，晶圆的清洗方法可以包括以下顺序执行的阶段：第一清洗阶段，将清洗液的循环流量控制为第一流量状态，第一流量状态对应的雷诺数大于或开元体育网站 开元登录入口等于4000；第二清洗阶段，将清洗液的循环流量控制为第二流量状态，第二流量状态对应的雷诺数处于200~2000之间，以抑制颗粒再吸附到晶圆上。

　　天眼查资料显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司，成立于2016年，位于西安市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本403780万人民币。通过天眼查大数据分析，西安奕斯伟材料科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目7次，专利信息1526条，此外企业还拥有行政许可24个。

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