国家知识产权局信息显示,创微微电子(常州)有限公司取得一项名为“光罩翻转装置及清洗设备”的专利,授权公告号CN223962843U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本实用新型属于半导体生产设备制造技术领域,具体涉及光罩翻转装置及清洗设备。本装置包括:两滑轨,其相对设置,且滑轨上滑动设置有滑动座;所述滑动座上安装有旋转气缸,旋转气缸的活动端安装有翻转夹具;其中,所述翻转夹具开元入口 开元在线官网呈U形,且翻转夹具的开口端两侧分别具有夹持斜面;以及,滑动座沿滑轨滑动,以带动向翻转夹具靠近或者远离,以使翻转夹具通过V型槽夹持光罩的对角边;所述旋转气缸驱动光罩翻转至水平或者竖直。通过设置U形的翻转夹具,并在翻转夹具的开口设置夹持斜面,以夹持开元入口 开元在线官网光罩的对角边,并适应不同大小的光罩。通过设置滑动座以使翻转夹具能够水平运送光罩。
天眼查资料显示,创微微电子(常州)有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,创微微电子(常州)有限公司参与招投标项目27次,专利信息85条,此外企业还拥有行政许可7个。
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