金融界2024年11月12日消息,国家知识产权局信息显示,苏州市翌科斯拓机电科技有限公司取得一项名为“摆臂装置及晶圆清洗设备”的专利,授权公告号 CN 221977906 U,申请日期为 2024 年 3 月。
专利摘要显示,本实用新型涉及机械设备技术领域,公开了一种摆臂装置及晶圆清洗设备。摆臂装置包括开元入口 开元在线官网支开元体育 开元体育官网撑平台、摆臂机构和支撑机构,其中,摆臂机构安装于开元入口 开元在线官网支撑平台,摆臂机构包括升降旋转臂和升降旋转轴,升降旋转臂和升降旋转轴转动连接,升降旋转轴为中空结构;支撑机构包括支撑外壳和支撑组件支撑外壳套设于升降旋转轴的外侧,并安装于支撑平台,支撑组件包括至少三个支撑件,至少三个支撑件均匀设置于支撑外壳的周向并与升降旋转轴滚动连接;旋转升降机构安装于支撑平台并与摆臂机构相连接,用于带动摆臂机构进行升降和旋转。该摆臂装置避免了升降旋转轴发生倾斜,实现与整机其他机构的灵活配置、升降位置可任意调节并达到实时检测的目的。