金融界2024年9月28日消息,国家知识产权局信息显示,浙江盾源聚芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种硅环清洗设备”的专利,公开号CN 118698964 A,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本发明公开了一种硅环清洗设备,包括清洗箱以及设置在清洗箱中的若干个清洗槽,清洗槽中设有吊篮,包括将吊篮移动至下一清洗槽内的吊升部件,吊篮内放置有用以硅环放置的花篮,所述花篮包括两相对设置的侧板,两侧板之间固定设有支撑板,侧板的底部转动连接有承托辊,承托辊的周壁与吊篮的底开元体育 开元体育官网壁抵接,支撑板上开设有卡接槽,硅环卡接在卡接槽内时,硅环与承托辊抵接,吊篮与花篮之间留有供花篮滚动的间隙,还包括开元体育 开元体育官网驱动吊篮摇摆的动力组件,承托辊在吊篮的底壁上往复滚动,由于硅环与承托辊抵接,故此承托辊能够带动硅环绕自身的轴线进行摆动,实现硅环与花篮的相对移动进而能够对硅环与卡接槽接触的位置进行清洗,提高硅环的清洗质量。