国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“载片舟承载电离装置和载片舟清洗设备”的专利，公开号CN121060895A，申请日期为2024年6月。专利摘要显示，本发明提供一种载片舟承载电离装置和载片舟清开元体育 开元体育官网洗设备，该装置包括多个第一电极页，多个第一电极页沿第二方向相对，且间隔排布；多个第一电极页用于与射频电源电连接，且各相邻的两个第一电极页所连接的射频电源的电极极性相反；多个第一电极页共同构成有沿第一方向依次设置的电离区和装载区，装载区用于容置载片舟。本发明方案不仅可以解决现有技术中湿法清洗存在清洗效率低、酸碱废水处理难度大的问题，而且还可以提高清洗效率和清洗均匀性。

　　天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于开元体育网站 开元登录入口北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过开元体育网站 开元登录入口天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1280次，财产线条，此外企业还拥有行政许可340个。

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